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家碩科技
家登小金雞 家碩26日登興櫃
家碩成立於2016年,資本額為2.73億元,原為母公司家登精密投資 設立的家登自動公司,2020年,家碩收購昇和精技,將業務觸角延伸 到高溫AIN PVD真空濺鍍和相關PVD設備技術,具半導體和面板PVD真 空技術,2023年2月,家登自動化改名為家碩。
家登目前持有家碩股權約50%,家碩目前主要業務為提供半導體設 備及相關零組件設計、製造、銷售及維修服務,主要應用於EUV光罩 及高階製程光罩傳載自動化技術解決方案,產品包含光罩潔淨、交換 、檢測、微環境儲存及智慧倉儲管理等。
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