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明遠精密科技
明遠精密年底上櫃
因應2050淨零碳排目標,環境部採「碳費先行」政策,預計2025年向首波重點企業徵收碳費;加速各大企業積極在每個環節中致力減碳。明遠精密主力產品之一ACME(射頻電源系統)屬於高度節能半導體設備,能有效協助客戶大幅減碳,節能效果最高更達68.7%,深受晶圓代工大廠等客戶青睞,成為製程標準機台配置。截至今年6月底已出貨200餘套,每年協助客戶減少23座大安森林公園的碳排放量。
明遠精密的產品在半導體製程扮演著關鍵角色。高效節能射頻電源系統用於CVD製程,確保氣體分子在沉積過程中均勻裂解和反應,形成高質量薄膜。臭氧供氣系統則用於ALD製程,有助於提高薄膜均勻性和致密性,對提升半導體元件性能至關重要。
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